WOS

特點說明:
● 輻射加熱，加熱速率快且加熱均勻
● 最惰性的石英材質設計，不會有成份吸附的問題
● 可處理6~12吋之晶圓，無需更換腔體
● Built-in Chiller設計，機台可快速冷卻
● 吸附管取樣時保持低溫，確保吸附效率
● 電子數位式的流量控制
● 觸控式螢幕控制系統
● 操作简洁方便

應用領域:
材料,環境,藥物食品,能源產業,電子,石化,農林地質,醫學臨床,半導體產業