PHI Quantera Scanning X-ray Microrobe

特點說明:
    X-ray光電子能譜儀(XPS/ESCA)在不同的工業及研究領域中，是在表面分析技術上最為廣泛的使用。XPS可從表面分析中，提供元素定量及化學狀態的資訊。 PHI Quantera針對工業使用之大用量設計，主真空腔可多達三個樣品台，及全自動分析設定，使操作更為簡易上手。
● Scanning X-ray Microprobe 之設計 :
     類似於SEM之功能及操作的便利性
     解析度高達9 μm
● 專利的雙射線束電性中和 :
     分析不導電樣品時，不需做特別的前置樣品準備
     自動分析多樣性之絕緣體樣品
● 高效率全自動分析 :
      縮短細微分析工作之時間
      增加高效能處理量
  五軸式電腦控制樣品平台

產業應用﹕材料,能源產業,電子,半導體產業