PHI ADEPT-1010
特點說明:● PHI D-SIMS為自動化的深度分析工具,主要是使用超低能量之離子射束來剝蝕樣品。● 電性中和系統使絕緣體分析更為簡單● 自動樣品量測高度校正● 新穎的SIMetric軟體儀器控制及數據簡化軟體● 軸式電腦控制樣品平台
產業應用﹕材料,能源產業,電子,半導體產業