PHI 5000 VersaProbe Scanning ESCA Microprobe

特點說明:
  PHI 5000 VersaProbe 為多功能的X-ray光電子能譜儀，可組合上許多配件增加其應用範圍，尤其為C60離子槍更能克服表面分析長期以來對有機結構作深度分析的困難，使得表面分析在對有機結構的認識更進一步。
● Scanning X-ray Microprobe 之設計 :
   類似於SEM之功能及操作的便利性
   解析度高達10 μm
● 五軸式電腦控制樣品平台 :
   具備Compucentric Zalar Rotation能力及程式化控制蝕刻速率
● 專利的雙射線束電性中和 :
   分析不導電樣品時，不需做特別的前置樣品準備
   自動分析多樣性之絕緣體樣品
● 配件多樣化 :
   C60離子槍、樣品溫度控制、UV光源等