PHI 700 Scanning Auger Nanoprobe

特點說明:
● PHI 700 掃描式Auger能譜儀，能提供樣品表面的元素及化學狀態，也使用在薄膜、層介面上，經由高靈敏度高解析度之Auger能譜儀，迅速獲得要求之分析結果。
● 樣品分析位置上，高達6nm解析度之二次電子成像
● 高達8nm解析度的Auger電子成像
● 新穎的 SMARTSoft 儀器控制軟體及 MultiPak 數據簡化軟體
● 同軸的電子槍及分析器，即使在表面粗糙的樣品也可清楚無妨礙的觀察樣品
● 低能量之數位化的控制流動式離子槍，替Auger分析之樣品做電性中和，也可應用在薄膜樣品之深度頗析
● 由 5 軸電腦控制平台去做自動化的多點分析及 Compucentric Zalar 深度剖析

產業應用:材料,能源產業,電子,半導體產業